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纳米制造，测量先行。研制高精度的纳米级标准物质，是打造高准确度纳米测量传递链，提升国产纳米制造产品质量可靠性的关键。标准物质研制单位同济大学相关专家介绍，二维铬纳米栅格标准物质突破性地采用分步沉积原子光刻技术天博体育安卓版，制备难度较大，可直接溯源到自然界量子化物理常数(铬原子跃迁频率)，角度绝对准确性在0.001°量级，相当于把一个蛋糕按扇形均分成三十六万份。二维铬纳米栅格的结构面积一般为300μm×300μm，在没有划伤或破坏的状况下，每次使用2μm×2μm，不重复使用测量区域次数可达20000次以上。可应用于晶圆级原子力显微镜、扫描电子显微镜等集成电路微纳检测设备校准，也可应用于对超精密位移传感器多种参数的光栅干涉法校准。